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本申请公开了一种MEMS器件。该MEMS器件包括：包括CMOS电路与MEMS模块，MEMS模块位于CMOS电路上，CMOS电路与MEMS模块连接，用于驱动MEMS模块，CMOS电路包括衬底与位于衬底上的第一晶体管，MEMS模块包括：保护层，位于CMOS电路上，保护层具有第一接触孔；以及第一电极，位于保护层上，第一电极的一部分位于第一接触孔中，经由第一接触孔并通过第一组互联引线与第一晶体管电连接，其中，第一接触孔与第一晶体管在MEMS器件的垂直方向上位置对应，该MEMS器件形成了单芯片垂直方向上的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210133881 U
(45)授权公告日
2020.03.10
(21)申请号 20182
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