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本实用新型属于信息光学技术领域,为解决全息光刻系统中条纹漂移问题,提出一种干涉条纹锁定控制装置,第一高速光电探测器采集参考光栅表面莫尔条纹光强度信号,并将光强信号同时传输到单片机和PID控制器;第二高速光电探测器通过光束取样光栅监控激光器的光强信号,该光强信号传输到单片机,PID控制器的信号输出端传输到第一超声波发生器的频率调制输入端;PID控制器输出反馈信号给第一超声波发生器,第一超声波发生器输出端连接至第一声光调制器。PID控制器实时探测参考光栅表面莫尔条纹光强度信号,将反馈信号传送给第一超
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210109553 U
(45)授权公告日
2020.02.21
(21)申请号 20192
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