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一种多悬臂热双金属驱动器.pdfVIP

一种多悬臂热双金属驱动器.pdf

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    本实用新型涉及基于透射电镜的纳米材料原位表征技术领域，提供了一种多悬臂热双金属驱动器，包括本体和第一开口、第二开口；本体包括主动区和设置在所述主动区两侧的被动区；主动区开设所述第一开口，被动区开设第二开口，第一开口与被动区之间的连接部设为第一搭载梁，第二开口与主动区之间的连接部设为第二搭载梁；第一开口与第二开口通过连接通道相连通；每个第二搭载梁与第二开口上相对第二搭载梁的侧壁之间各自构成一个压缩驱动位置；本实用新型结构简单、制备方便，便于批量化生产，实现了在不同温度下进行TEM原位力学实验，还可

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210110702 U (45)授权公告日 2020.02.21 (21)申请号 20192

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