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本申请提供了一种真空干燥装置，该真空干燥装置包括真空腔室及位于真空腔室内部的支撑件，所述真空腔室包括抽气口，所述抽气口与真空腔室连通，所述抽气口分别位于真空腔室的侧部及底部，用于抽取所述真空腔室内部的气体或向所述真空腔室内部填充气体；所述支撑件位于真空腔室的下方，用于承载表面涂覆有功能墨水的基板。该真空干燥装置设有多个抽气口，分别位于真空腔室的侧部及底部，有利于在抽气干燥过程中均衡基板中部区域与边缘区域的气流，促使基板各处溶剂挥发速度稳定，提高了成膜均匀性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210101058 U
(45)授权公告日
2020.02.21
(21)申请号 20192
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