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单晶炉石墨坩埚提升机构.pdfVIP

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    本实用新型是关于单晶硅制备设备领域，特别涉及一种单晶炉石墨坩埚提升机构。包括提升架；提升架为环形，沿周向均布若干通孔；旋转机构包括旋转轴及锁紧块；旋转轴有多根，顶部设于提升架上的通孔内，并通过垫环与锁紧块固定；每个旋转轴底端均设有提升块；锁紧块上端面上设有腰型槽；转盘设于提升架上方，转盘周向均布多个腰型孔，旋转轴顶端设于腰型孔内；转盘下端面设有若干导向件，导向件下端设于锁紧件的腰型孔内，并能沿着腰型槽移动。本实用新型与手工装卸相比，本实用新型不会对坩埚表面造成材料污染，也不必将坩埚切成三瓣，既节

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210085618 U (45)授权公告日 2020.02.18 (21)申请号 20192

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