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本实用新型属于真空镀膜辅助设备技术领域，具体涉及一种具有防卡死功能的真空镀膜转架。所述防卡死真空镀膜转架包括转盘组件、公转主杆、自转挂杆；所述转盘组件包括底盘、公转盘、公转齿轮、自转齿轮、转动主轴。所述转盘组件还设有平面滚珠轴承，所述平面滚珠轴承固定设置于所述底盘上方且滚动支承在所述公转齿轮下表面内圈。本实用新型所提供的防卡死真空镀膜转架，通过设置平面滚珠轴承对公转齿轮进行水平支撑，保持转架的垂直角度稳定，避免了倾斜导致的卡死，从而提升了生产效率；并且由于稳定了公转齿轮的角度，也提升了工件镀膜时
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210085569 U
(45)授权公告日
2020.02.18
(21)申请号 20192
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