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该实用新型涉及一种水平载片装置,包括基座,所述基座设置有卡槽,所述卡槽用于放置待装载的晶圆,且当所述水平载片装置水平放置时,所述卡槽的底面与水平面之间具有一预设夹角。上述水平载片装置在基座上设置了倾斜的卡槽,在使用倾斜的卡槽来装载晶圆时,避免了由于晶圆晃动而产生的碰撞、导致的晶圆边缘损伤、粘片以及双片键合片的开缝问题。且由于晶圆在卡槽中的倾斜设置,片间间距相同,不同位置炉内的气流和温场分布较均匀,在对晶圆进行热处理时,热处理的效果更好。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210092044 U
(45)授权公告日
2020.02.18
(21)申请号 20192
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