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一种表晶圆柱体的除油装置.pdfVIP

一种表晶圆柱体的除油装置.pdf

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    本实用新型公开了一种表晶圆柱体的除油装置，属于除油技术领域。所述表晶圆柱体的除油装置包括：驱动电机的固定端设置在机架上，驱动电机的输出端设置有第一齿轮；若干滚动机构与若干滚筒一一对应，滚筒设置在相对应的滚动机构上；滚动机构包括：两个滚轴；两个滚轴的可转动地设置在机架上，两个滚轴的同一端均设置有第二齿轮，传动链套接在第一齿轮及两个第二齿轮上，传动链分别与第一齿轮及两个第二齿轮相啮合。本实用新型表晶圆柱体的除油装置除油简便，效率高，除油效果好。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210080218 U (45)授权公告日 2020.02.18 (21)申请号 20192

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