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本实用新型涉及蚀刻设备技术领域,且公开了一种蚀刻在线药液清理装置,包括蚀刻机和空压机,蚀刻机的顶部防止有蚀刻板,蚀刻机的内部固定安装有回收箱,回收箱的内部固定套接有回收管,蚀刻机一端的顶部固定安装有支撑架,空压机的一侧固定安装有出风管,出风管上固定安装有调节阀,且出风管上固定安装有出风喷头,出风管远离空压机的一端与支撑架的顶部活动连接。该蚀刻在线药液清理装置,通过回收管和回收箱的共同作用,可以将多余的药液回收到回收箱的内部,节约了药液的成本,保持了蚀刻机的稳定性,同时在蚀刻板进入下一个清洗环节时
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210030890 U
(45)授权公告日
2020.02.07
(21)申请号 20192
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