YST 26-1992硅片边缘轮廓检验方法.pdf

H1. 21中华人民共和国有色金属行业标准YS/T 26-92硅片边缘轮廓检验方法1992-03-09发布1993-01-01实施中国有色金属工业总公司发布 中华人民共和国有色金属行业标准YS/T 26-92硅片边缘轮廓检验方法主题内容与适用范围本标准规定了硅片边缘轮廓的检验方法。本检验方法适用于检验倒角硅片的边缘轮廓。2方法提要将硅片沿径向划开形成剖面，借助光学投影仪将其放大，聚焦使剖面清晰地投影到显示屏上，与标模版相比较。硅片边缘剖面投影轮处在标准模版允许区域内，则硅片边缘轮廓为合格：否则为不合格。3测量仪器3.1光学投影仪：放大倍数为50×或100×，载物台在α和方向上可移动。3.2硅片夹具：应能使硅片表面平行于光路，使硅片边缘轮廓清晰地投在显示屏上。3.3标准测微尺：长度为0.5～1.0mm,绝对误差小于 5μm。4抽样与制样4.1抽样方案及试样测量点的位置和数目由供需双方商定。4.2在确定的测量点处沿径向划开硅片，制取试样。5检验步骤5.1检验用的标准模版图形如图1，其特征点坐标和基本尺寸应符合图2和表1的规定。标准模版的制作方法按图1、图2、表1的规定。正面允许区域图1标准模版图形中国有色金属工业总公司1992-03-09批准1993-01-01实施1 YS/T 26—92图2标准模版特征点坐标表1标模版特征点坐标值m特征点A8cD01/3硅片厚度7605.1.1将标准模版基本尺寸乘以投影仪的放大倍数5.1.2按放大后的模版尺寸，在透明材料（如玻璃、描图纸）上按照图1描制与硅片厚度相当的标推模版。5.2检查投影仪放大倍数：5.2.1调节投影仪。使用50×或100×放大镜头，将标准测微尺投影到显示屏上。5.2.2用精度0.5mm的直尺测投影长度。5.2.3核算投影仪放大倍数。5.3按硅片厚度和放大倍数选择相当的标推模版，放置在投影仪显示屏上。5.4将试样放人夹具内，置于载物台上，使试样剖面垂直于光路。5.5调节投影仪，使试样显示出清晰的边缘轮廓。5.6沿和方向调节载物台，将试样边缘轮廊投影与标准模版相比较。5.7判定被测硅片边缘轮廓是否舍格：5.7.1硅片测量点处边缘轮廓投影落在标准模版允许区域内为舍格;否则为不合格。·5.7.2硅片边缘上所确定的测量点处的边缘轮廓全部合格，则该片边缘轮廊为含格。6精密度投影仪放大倍数为50±0.5×或100±1×，其相应的标准模版尺寸精确到0.05mm或0.1mm。在此条件下，单个实验室检验重复性达100%。试验报告试验报告应包括以下内容：a.硅片编号；b.硅片批量及检验试样数量：c.测量点位置及数目；d.合格硅片数；e.本标准编号：2 YS/T 26-92检验者及检验日期。附加说明：本标准由中国有色金属工业总公司标准计量研究所提出。本标准由洛阳单晶硅厂负责起草。本标准主要起草人王从赞、夏光勤。本标准等效采用美国标准ASTMF928一85《硅片边缘轮廓检验方法》。..... (京)新登字023号YS/T中华人民共和国有色金属行业标准硅片边缘轮廓检验方法YS/T 26--92*中国标出版社出版(北京复外三里河）中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷新华书店北京发行所发行各地新华书店经售版权专有不得翻印开本880×12301/16印张 1/2字数8月第一版1992年8月第一次印刷印数 1-2000标目 194—25