YS_T 1150-2016高纯钴铸锭.pdf

ICS 77. 150. 70YSH 62中华人民共和国有色金属行业标准YS/T1150—2016高纯钴铸锭High purity cobalt ingot2016-07-11发布2017-01-01实施中华人民共和国工业和信息化部发布 中华人民共和国有色金属行业标高纯钻铸锭YS/T中国标准出版社出版发行北京市朝阳区和平里西街甲2号(100020)北京市西城区三里河北街16号(100045)网址 www, spc, net, cn总编室：(010行中心：(010者服务部：(010)G8523946中国标准出版社泰皇岛印剧厂印剧各地新华书店经销并本 880X1230 1/16印张0.5字数10千字2017年5月第一起22017年5月第一次印朗书号： 155066·2-31624如有印装差错由本社发行中心调换版权专有侵权必究举报电话：(010 YS/T 1150—2016前言本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起单，本标准由全国有色金属标准化技术要员会(SAC/TC243)提出并归口。本标准起草单位：有研亿金新材料有限公司、宁波江丰电子材料股份有限公司。本标准主要起草人：张毒、姚力军、李勇军、王学泽、何金江、宋佳、罗俊锋、衰海军、贺、陈男军、曾浩、赵玉林、刘丹、熊晓东、万小勇。I YS/T 1150—2016高纯钻铸锭1范围本标准规定了高纯铝筹锭的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存和质量证明书以及订货单(或合同)内容。本标准适用于半导体钻靶材制造所需的高纯结铸健。其他行业所需的高纯错筹链也可参照使用。2规绝性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的，凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件，凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB/T 14265金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则YS/T 837避射靶材-背板结合质量超声被检验方法YS/T 1011高纯钻化学分析方法杂质元含量的测定辉光放电质谱法3要求3.1产品分类高纯结铸能按化学成分分为Cn-4N5和Co-5N两个牌号，3.2化学成分要求3.2. 1高纯钴铸锯的化学成分高纯结铸链的化学成分见表1。表1高纯钴街绽的化学成分Co(质量分数)杂质含量（质量分数)/×10-*%，不大于牌号%,不小于AgA1BCaCuFeKNS-00666°660. 11. 00. 1 1. 0 1. 01. 01. 00. 05Co-4N599, 9952, 02. 0--1. 02. 010. 00. 2合州Co*(质量分数)禁质含量（质量分数)/×10*%，不大于%,不小于MgMnMoNaNiusTICu-5N666*660. 10. 11. 01. 00. 056. 01. 0 0, 52. 0Co-4N599, 995一2, 01. 00. 28. 05. 02. 0席号Co(质量分数)杂质含量（质量分数)/×10-%，不大于%,不小于ZnUwZr索质总和Co-5N99, 9990. 50, 10, 000 10, 000 11. 01. 0101 YS/T 1150—2016表1(读)Co*(质量分数)案质合量（质量分数)/X10**%，不大于牌号%,不小于VZnThUWZr杂质总和Co 4N59G6 *6G1. 00. 010, 0150注：用户对某种特定杂质元索含量有特殊要求的，由供需双方协商确认，杂质总和为表中所列杂质含量实测值之和。b高纯钻资促的站含量为100%减去表中所列柔质含量实测值总和的余量3.2.2高纯钻铸锭的气体元素含量高纯钴铸锭中的气体元索含量见表2。表2高纯钻铸绽的气体元素含量牌号Co(质量分数)/%，气体元案含量(质量分数)/X101%，不大于不小于cH0sNS-99, 9993010 2010010Co-4N599, 99505 10 3外形尺寸高纯结铸锭形状一般为圆柱型，其外形尺寸及允许偏差由供需双力协商。绽如图1所示，图1高纯钻铸锭示意图3.4外观质量高纯钻铸锭表面应洁净，无裂纹、毛刺、夹奈、孔润和其他沾污。3.5内部缺陷高绳钻铸辑内部应连续一致，内部应无气孔、疏松、缩孔和夹杂等缺陷。试验方法4,1化学成分分析方法4.1.1高纯钻锭中杂质元索的分析方法按YS/T1011的规定执行。4.1.2高纯钻传键中碳、氢、氢、氧、殖杂质元的分析按照GB/T14265的规定技行。2 YS/T 1150—20164.2外形尺寸高纯钻铸的外形尺寸由相应精度的量具检测，4.3外观质量外观质量用日视检查或10倍放大镜下检查，4.4内部缺陷高纯钻铸锭内部缺陷检查按YS/T837的规定进行5检验规则5. 1检查和