JC_T 2064-2011半导体用透明石英玻璃棒.pdf

ICS 81. 040. 30Q 35JC备案号：344082012中华人民共和国建材行业标准JC/T 2064--2011半导体用透明石英玻璃棒Transparent guartz glass rods for semiconductor2011-12-20 发布2012-07-01实施中华人民共和国工业和信息化部发布 JC/T 2064---2011前 言本标准按照GB/T 1.1一2009给出的规则起草。本标准由中国建筑材料联合会提出。本标准由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会(SAC/TC447)归口。本标准负贵起草单位：久智光电子材料科技有限公司。本标准参加起草单位：中国建筑材料检验认证中心、中国建筑玻璃与工业玻璃协会。本标准主要起草人：宋维宁、吴洁、王春玲、张锦。本标准为首次发布。I JC/T 2064--2011半导体用透明石英玻璃棒1范围试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于半导体行业生产中使用的透明石英玻璃棒。冶金、化学工业用透明石英玻璃棒也可参照本标准执行。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB/T3284石英玻璃化学成分分析方法GB/T4121石英玻璃热变色性试验方法GB/T10701-2008石英玻璃热稳定性试验方法GB/T12442石英玻璃中羟基含量检验方法JC/T 597-2011半导体用透明石英玻璃管3　术语和定义JC/T 597界定的术语和定义适用于本文件。4分类和标记4.1分类按用途分为太阳能级石英玻璃棒(T级)和电子级石英玻璃棒(D级）。4.2　标记产品按分类(T或D)、产品名称、产品规格、生产批号、标准编号的顺序标记。示例：符合JC/直径为20mm，长度为1000mm，生产批号太阳能级透明石英玻璃棒标记为：T-石英玻璃棒-20X1000JC/T 2064—20115要求5.1规格尺寸及尺寸公差5.1.1直径及直径公差 JC/T 2064—2011直径及直径公差应符合表1的规定。表1单位为毫米直径范围直径公差8≤16±0.316≤20±0.520≤30±0.8注：特殊规格的石英玻璃棒，由供需双方商定。5.1.2长度公差应小于等于5mm。5.1.3椭圆度不应大于直径公差的绝对值。5.1.4 弯曲度不应超过棒长的0.1%。5.2外观质量外观缺陷应符合表2的规定。各项外观指标均对每米石英玻璃棒而言。表2外观缺陷要求Φ0.3mm不计气泡5个Φ0.5 mm不允许破皮气泡不允许Λ1mm允许有3条气线长度1 mm不允许破皮气线不允许色线等其他缺陷不允许5.3 理化性能5.3.1杂质元素含量T级石英玻璃棒2 JC/T 2064-2011T级石英玻璃棒的铝、铁、钙、镁、钛、铜、钴、锰、镍、锂、钠、钾、硼十三种杂质元素的总含量应小于等于30.00×10，其中：铁含量应不大于1.50×10，钛含量应不大于3.00×10~，铜含量应不大于0.80×10~，硼含量应不大于0.20×10~，锂、钠、钾总含量应不大于5.00×10。D级石英玻璃棒D级石英玻璃棒的铝、铁、钙、镁、钛、铜、钴、锰、镍、锂、钠、钾、硼十三种杂质元素的总含量应不大于25.00×10，其中：铁含量应不大于0.80×10，钛含量应不大于2.00×10，铜含量应不大于0.50×10，硼含量应不大于0.10×10，锂、钠、钾总含量应不大于2.50×10。5.3.2 羟基含量应不大于220×10。5.3.3热稳定性石英玻璃棒在1200℃±5℃下保温20min，置于20℃土5℃的空气中冷却，试验三次，不应出现裂纹、缺口或崩落（切、磨口处小于3mm 的断面崩落不计）。5.3.4 热变色性石英玻璃棒在1200℃土5℃下保温2h，在290nm波长处热处理前、后的透射比变化平均值△T应小于等于4%。5.3.5抗析晶性石英玻璃棒在1400℃土5℃下保温6h，析晶层平均厚度应小于等于80μm。6　试验方法6.1规格尺寸及尺寸公差6.1.1直径、直径公差及椭圆度用分度值不大于0.02mm的游标卡尺等量具进行测量。测量石英玻璃棒两端及中部的直径，同一截面上测量点不少于3个，取所有测量数据中的最大值减公称直径所得代数差为直径上公差，最小值减公称直径所得代数差为直径下公差。同一截面上最大值减最小值，其差值的最大值为椭圆度值，6.1.2长度用分度值为1mm的钢直尺或钢卷尺沿长度方向测量最短处和最长处。6.1.3弯曲度将石英玻璃棒放在准确度不低于2级的平台上，使两端紧贴平台转动石英玻璃棒，用分度值不大于0.02mm的塞尺测量石英玻璃棒与平台之间的最大间