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本实用新型提供一种清洗装置，清洗装置包括：清洗槽、清洗液喷头及气体喷头；清洗槽包括内槽及位于内槽外侧的外槽，外槽包围内槽，且外槽的底面低于内槽的顶面；清洗液喷头形成清洗液面，且清洗液面的投影覆盖位于内槽中的传送手臂；气体喷头位于清洗液喷头的上方，气体喷头形成气体面，气体面位于清洗液面的上方，且气体面的投影覆盖清洗液面。本实用新型的清洗装置，通过清洗液喷头对传送手臂进行清洗，通过气体喷头对传送手臂进行清洁及干燥，且通过气体喷头还可防止清洗液的飞溅，从而提高传送手臂的清洗效果、提高晶圆的蚀刻率及晶圆
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 209935364 U
(45)授权公告日
2020.01.14
(21)申请号 20192
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