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本实用新型涉及一种用于收集固体粉尘的处理装置，包括粉尘收集瓶以及尾气收集瓶；所述的粉尘收集瓶外表面上设置有冷凝管，所述的尾气收集瓶内设置有多孔石英板，所述的多孔石英板将尾气收集瓶分为上半区和下半区，所述的上半区内填放有石英小珠，所述的冷凝管的输出端与上半区相通；冷凝管中的冷凝水流经多孔石英板至尾气收集瓶的下半区；粉尘收集瓶的输出端通过管路延伸至尾气收集瓶的下半区。本实用新型能够使硼源或磷源等副产物大部分以固体粉尘形式沉积于容器内，剩余则溶解于水中从而达到有效处理尾气的目的。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 209917543 U
(45)授权公告日
2020.01.10
(21)申请号 20192
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