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本实用新型公开了一种硼掺CVD金刚石单晶颗粒的制备系统，包括掺硼子系统和与其相连的反应子系统，所述掺硼子系统包括进气装置和鼓泡装置，所述鼓泡装置安装在进气装置上；氢气进入进气装置后被分成两路，一路直接进入反应子系统；另一路则作为载气，先进入鼓泡装置鼓泡，将丙酮与硼酸三甲脂混合溶液以蒸汽形式带出，再经流量计、针型阀与直通通路的氢气汇合，进入反子系统。相对于传统的硼烷掺杂而言，本实用新型操作简单、安全，且可以通过流量计对气体流量进行精确设定，易于控制掺杂浓度，导入的氧元素亦具有提高生长速率、改善金刚
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 209906877 U
(45)授权公告日
2020.01.07
(21)申请号 20192
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