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2023-07-26 发布于北京
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一种微型角锥电感器的制备方法.pdf

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本发明涉及一种微型角锥电感器的制备方法，属于纳米电子器件技术领域。制备操作步骤：(1)在硅衬底上依次沉积牺牲层和应力层；(2)采用感应耦合等离子体刻蚀方法经第一次光刻确定操作台；(3)采用电子束蒸发镀膜方法经第二次光刻后沉积金属层，采用原子层层积方法沉积保护层；(4)第三次光刻确定刻蚀窗口，刻蚀牺牲层触发薄膜自卷曲，得到标准自卷曲电感；(5)对标准自卷曲电感退火处理，产生应力差，得到角锥电感。本发明的微型角锥电感器有着大的自谐振频率和品质因数，在宽频带内有着良好的使用效果，在具有较小尺寸的同时，

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116487371 A (43)申请公布日 2023.07.25 (21)申请号 202310227774.7 (22)申请日 2023.03.10 (71)申请人合肥工业大学地址 230009

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