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本实用新型公开了一种惰性气体分离处理装置,包括废气储存罐,所述废气储存罐一侧设有加热干燥器,所述加热干燥器一侧设有初级过滤系统,所述初级过滤系统一侧设有第一缓冲气罐,所述第一缓冲气罐一侧设有低压高温加热器,所述低压高温加热器一侧设有分子筛吸附泵。本实用新型通过设有加热干燥器把废气中水汽除去,设有初级过滤系统把颗粒杂质除去,分子筛吸附泵把废气中惰性气体氩和活性气体除去,钛升华泵将废气中剩余活性气体除去,制冷机把废气中除氦气以外的惰性气体凝结成晶体,然后通过晶体过滤器过滤分离,之后通过分子膜过滤器过
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214287472 U
(45)授权公告日 2021.09.28
(21)申请号 202023261563.6 B01D 50/00 (2006.01)
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