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08’MEMS 复习题
MEMS 的概念，MEMS 产品应用。
MEMS〔Micro-Electro-Mechanical Systems〕是指微型化的器件或器件组合，把电子功能与机械的、光学的或其他的功能形结合的综合集成系统，承受微型构造〔集微型传感器、微型执行器、信号处理和把握电路、接口电路、通信系统以及电源〕，使之能在微小的空间内到达智能化的成效。
MEMS 是 Micro Electro Mechanincal System 的缩写，即微机电系统，专指外形轮廓尺寸在毫米级以下， 构成它的机械零件和半导体元器件尺寸在微米至纳米级，可对声、光、热、磁、压力、运动等自然信息进
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