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本实用新型公开了一种氟化氢密闭装置，该氟化氢密闭装置包括安装座、气罐、密封板和控制平台，多个气罐间隔设置于安装座上；密封板沿安装座的四周及顶部围成密封室，安装座一侧的密封板上设置有出入口，出入口上设置有封闭门，密封板上沿安装座的四周间隔设置有多个通风口，通风口上设置有封闭窗，出入口和通风口处还设置有气体传感器，气体传感器用于检测空气中的氟化氢；控制平台位于多个气罐的上方，控制平台上设置有气阀，气阀与多个气罐相连接，气阀上设置有压力传感器，压力传感器用于检测气阀的压力，控制平台上还设置有控制机构，
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214220769 U
(45)授权公告日 2021.09.17
(21)申请号 202022980882.6 G01N 27/26 (2006.01)
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