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本发明提供了一种利用太赫兹信号测量薄膜电导率的方法、装置、计算机设备以及介质。所述方法包括:计算出理论传输函数的理论幅度值Atheo(ω)与理论相位值θtheo(ω);测量实验传输函数的实验幅度值Aexp(ω)与实验相位值θexp(ω);根据理论传输函数和实验传输函数的幅度值和相位值,得到误差函数:对误差函数进行迭代,得到误差函数最小时薄膜样品的折射率n与消光系数k;利用薄膜样品的折射率n与消光系数k计算出薄膜样品的复数电导率。上述方法排除了薄膜近似条件对电导率提取的影响,从而精确得到薄膜样品的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113866503 A
(43)申请公布日 2021.12.31
(21)申请号 202111036683.2
(22)申请日 2021.09.03
(71)申请人 中国科学院空天信息研究院粤港澳
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