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本发明涉及太阳能电池制造领域，尤其涉及一种降低管式PERC电池划伤的工艺，包括以下步骤：开始、充氮、放舟、升温、预抽、主抽、检漏、抽真空、恒温、恒压、淀积、抽真空、清洗、恒温一、恒温二、充氮一、取舟、结束，利用此工艺无需设备改造与新增投入以及石墨舟改造，在原有镀背面氮化硅膜的管式PECVD设备上，通过调整抽空步压力及抽速，工艺温度、出舟前充氮步增加两步恒温，即为了缓慢回压，即可解决管式PECVD机台EL划伤比例偏高的问题；与现有工艺相比，本发明产生的EL划伤比例降低一半左右，可积极推动PERC电
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113838948 A
(43)申请公布日 2021.12.24
(21)申请号 202111137732.1 C23C 16/34 (2006.01)
(22)申请日 2
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