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2023-07-07 发布于四川
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一种用于同时碳化不同尺寸钽坩埚的石墨加热器及使用方法.pdf

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一种用于同时碳化不同尺寸钽坩埚的石墨加热器及使用方法，本发明涉及石墨加热器及使用方法。本发明是要解决现有的钽坩埚的碳化过程周期时间长、碳化效率低的技术问题。本发明的用于同时碳化不同尺寸钽坩埚的石墨加热器包括上盖、中间体、至少一个中盖和下盖；其中中间体上设置至少一个连接体；每个连接体与一个中盖连接。用法：向中盖底部加入碳粉，再放入待碳化的钽坩埚，填满碳粉，连接到连接体上，同样将待碳化的钽坩埚埋在下盖的碳粉中；继续填入碳粉，将上盖、中间体与下盖连接，再将组装完毕的石墨加热器，放入炉中碳化，得到碳化完

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113846383 A (43)申请公布日 2021.12.28 (21)申请号 202111132906.5 (22)申请日 2021.09.27 (71)申请人哈尔滨科友半导体产业装备与技术

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