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本发明提供一种图像传感器及其制备方法。其中，图像传感器包括：衬底以及依次沉积在衬底上的保护层、第三氧化层和阻挡层。第三氧化层，由覆盖于第一氧化层表面的第二氧化层回刻蚀形成，以使得第三氧化层的顶表面呈曲面，进而形成在第三氧化层上的阻挡层也相应地具有曲面形状，以汇集更多的光线进入感光元件中，增加光子量，提高图像传感器的灵敏度。并且，本发明在保护层和阻挡层中间设置有第三氧化层，以在一定程度上削弱阻挡层的膜应力，避免因直接沉积阻挡层而导致的浮置扩散区的错位。因此，本发明不仅能够改善图像传感器的灵敏度，工
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113838881 B
(45)授权公告日 2022.02.08
(21)申请号 202111417363.1 (56)对比文件
(22)申请日 2021.11.26
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