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本发明公开了一种金刚石基氮化镓异质结二极管器件及其制备方法，首先在金刚石衬底表面自下而上依次外延生长重、轻掺杂的n型金刚石多层结构，并在多层结构上沉积过渡介质层；然后对过渡介质层进行光刻、显影、刻蚀等工艺处理，形成图形化的n型金刚石层台面；接着在露出的n型金刚石层表面依次外延生长本征氮化镓层或量子阱层结构、p型氮化镓层、介质保护层和钝化层；最后通过光刻、显影、刻蚀、薄膜沉积等工艺在p型氮化镓层和n型金刚石层上形成p型和n型金属电极，从而得到n型金刚石‑p型氮化镓结合的金刚石基氮化镓异质结二极管器
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113838817 A
(43)申请公布日 2021.12.24
(21)申请号 202111149661.7 H01L 29/861 (2006.01)
(22)申请日
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