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本发明涉及一种载片测试装置及使用方法。该装置包括集成底座、集成工作台两大部分组成。集成底座包括底座模块、退/送料模块、横向定位模块；集成工作台包括工作台动模块、工作台定模块、外挂件。本发明采用曲柄滑块机构、凸轮机构，限位块等实现各部位机械联动，拉力弹簧作为预加载荷消除各个运动元件间隙，并为各元件复位提供机械能，确保信号/加电探针加电等空间运动具有良好的重复性。可显著提高载片测试效率及生产效率，降低生产成本，适用于多品种、小批量测试的芯片、载片式元器件电性能测试。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113848461 A
(43)申请公布日 2021.12.28
(21)申请号 202111248776.1
(22)申请日 2021.10.26
(71)申请人 中国电子科技集团公司第五十五研
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