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本发明公开了一种太阳能薄膜电池表面微纳结构加工装置及加工方法，属于太阳能电池制造技术领域。该加工装置包括支撑平台、激光器、Z轴运动模组、XY轴运动模组、工装夹具和光路传输系统。光路传输系统包括扩束镜、多个反射镜、DOE分光模块、振镜以及聚焦场镜。激光光路是由激光器发射经扩束镜扩径后，通过反射镜多次反射后进入DOE分光模块分为多束光后再分别经振镜导入聚焦场镜用于工件的加工。本发明的加工装置利用超快激光器和振镜系统，可以精确控制加工区域，并实现相同区域的多次循环加工，通过DOE模块实现多光束加工，大
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113828927 A
(43)申请公布日 2021.12.24
(21)申请号 202111132634.9
(22)申请日 2021.09.27
(71)申请人 浙江师范大学
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