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本发明公开了一种金刚石衬底GaN器件背孔制备的方法,包括:1)制备金刚石衬底GaN器件;2)临时载片的正面涂敷键合材料;3)将GaN器件和临时载片键合;4)金刚石衬底表面沉积金属掩膜,并剥离金属得到背孔图形;5)按照背孔图形对金刚石衬底进行激光刻蚀;6)进行等离子体干法刻蚀,直至背孔内金刚石衬底完全刻蚀干净;7)对背孔内的GaN外延层进行等离子体干法刻蚀;8)抛光将金刚石衬底表面的掩膜去除干净;9)在金刚石衬底背面及背孔内沉积种子层金属,并电镀沉积背金;10)将临时载片分离并清除粘合材料。本发明
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113808948 A
(43)申请公布日 2021.12.17
(21)申请号 202111036982.6
(22)申请日 2021.09.06
(71)申请人 中国
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