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本发明涉及一种提高烧结炉传送带表面氧化层可靠性的方法,包括:第一氧化处理段,将高温烧结炉的温度设置在990℃~1010℃,通入氮气,将传送带进行循环空运转,并在每次运转时确保在炉内保持停留时间;传送带循环空运转时间为1~2天;第二氧化处理段,将高温烧结炉的温度调整至1065℃~1075℃,通入氮气,将经步骤1处理后的传送带再次进行循环空运转,并在每次运转时确保炉内停留时间;传送带持续进行空运转的时间为4~5天。通过本发明的两段式氧化处理,将传送带氧化时间从需12~15天左右缩短到5~7天左右,降
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113804004 A
(43)申请公布日 2021.12.17
(21)申请号 202110923667.9
(22)申请日 2021.08.12
(71)申请人 上海富乐华半导体科技有限公司
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