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本发明提供一种超结功率器件及其制备方法，在制备超结功率器件时，可在形成第一导电类型外延层之后通过添加超结掩膜版、在形成第二导电类型阱区之前或之后直接通过阱区掩膜版，以及在形成接触结构之前或之后直接通过接触掩膜版，即可在第一导电类型外延层内注入第二导电类型杂质，以依次形成第二导电类型浮岛及第二导电类型柱，该制备工艺无需进行多次外延工艺，且无需进行深沟道刻蚀，因此制备工艺简单、成本低，且成品率及可靠性较高。本发明的超结功率器件同时具有第二导电类型浮岛及第二导电类型柱，在断路状态，可提高功率器件的击穿
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113808944 A
(43)申请公布日
2021.12.17
(21)申请号 20201
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