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本发明公开一种薄膜传感器及其制备方法、参数检测方法，该薄膜传感器包括：至少一个三向应变敏感单元；每个三向应变敏感单元包括三个应变栅，三个应变栅串联形成等边三角形；通过检测获得各应变栅的压降，基于各应变栅的压降确定待测构件的应变量和/或温度。本发明通过采用三向应变敏感单元，三个应变栅串联形成等边三角形，可通过较少导线检测各应变栅的压降，同时获得待测构件的应变和温度变化，有效降低薄膜传感器的占用面积，实现薄膜传感器小型化、多功能化、集成化，解决现有技术发动机内部空间不足的问题。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113776586 A
(43)申请公布日 2021.12.10
(21)申请号 202111019949.2
(22)申请日 2021.09.04
(71)申请人 中北大学
地址 03
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