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热处理炉的加热器供电装置.pdfVIP

热处理炉的加热器供电装置.pdf

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    本发明公开热处理炉的加热器供电装置。本发明包括：热处理炉，其具有为了加热干燥基板而容纳基板的腔室，所述腔室内安装有作为发热体的加热器，且利用所述加热器的热对基板进行加热或者干燥；导电部，其连接有多个汇流条，所述汇流条与所述加热器的发热线连接以导通电流；以及供电部，其具有突出于腔室的外盒体并用于向所述汇流条导通电流的多个引线(feedthrough)，从而沿着所述腔室的内外盒体引导外部电源输入端子的连接。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113774206 A (43)申请公布日 2021.12.10 (21)申请号 202010655358.3 H02G 3/08 (2006.01)

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