多晶硅棒的切断方法、多晶硅棒的短棒的制造方法、多晶硅棒的硅粒的制造方法及多晶硅棒的切断装置.pdfVIP

多晶硅棒的切断方法、多晶硅棒的短棒的制造方法、多晶硅棒的硅粒的制造方法及多晶硅棒的切断装置.pdf

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本发明实现一种在切断多晶硅棒时防止金属污染的方法。本发明的切断方法是包括利用切断工具(133)切断多晶硅棒(S)的切断步骤的多晶硅棒(S)的切断方法，且在切断步骤中，从第一喷嘴(14)向多晶硅棒(S)的切断位置供给液体(L1)，从第二喷嘴(15)向多晶硅棒(S)的表面供给液体(L2)。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113784828 A (43)申请公布日 2021.12.10 (21)申请号 202080033334.2 (74)专利代理机构北京信诺创成知识产权代理

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