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本发明公开了一种激光波前探测调整装置，包括：波前校正器，其包括镜片和压电陶瓷柱；激光探测器，其与所述波前校正器的压电陶瓷柱集成设置且所述激光探测器与所述压电陶瓷柱设置在所述镜片同一侧，用于检测直接入射激光束与经反射激光束在所述激光探测器上形成光斑的距离；自控主机，用于根据所述距离计算驱动电压值，并根据该驱动电压值调节波前校正器的驱动电压。该装置通过将激光的波前调整结构与激光探测器通过有序穿插的方式结合到一起，减少了系统复杂度，容易集成至各类激光设备中，提高了系统可靠性与实用性。此外，该装置采用两
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113783078 B
(45)授权公告日 2023.03.28
(21)申请号 202010516227.7 G01J 9/00 (2006.01)
(22)申请日 2020.06.
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