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一种用于创建弹性板或用于产生弹性板的掩模的过程包括提供具有由相等尺寸的网屏斑点的基本图案限定的分辨率的网屏,每一个网屏斑点包括在网屏上表示的最小曝光的分立元素。在板或掩模的至少非实心色调部分中,选择性地调制物理斑点的尺寸,使得基本图案中的每一组四个相邻物理斑点具有在其间定心的未曝光区域。基本图案中的每一个网屏斑点可以是被8个未曝光像素围绕的曝光像素,每一个物理斑点对应于用于曝光掩模上的斑点的激光束的分辨率,其中成像步骤包括相对于非隔离像素而提升用于隔离像素的激光束的功率。还公开了掩模和板以及用于
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113777878 A
(43)申请公布日 2021.12.10
(21)申请号 202111086112.X
(22)申请日 2017.05.26
(30)优先权数据
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