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本发明涉及基板检测装置,即使在收纳容器的形状未被规格化的情况或者基板的形状为方形基板的情况中的任一情况下,也能够检测基板,容易地获取基板信息。该基板检测装置具备:载置部,载置供多个基板沿上下方向排列收纳的收纳容器;传感器保持部,与载置部相对升降;升降驱动部,使载置部与所述传感器保持部相对升降;多个传感器,在与上下方向相交的方向上分离配置在所述传感器保持部,分别检测容纳于收纳容器的基板的端部的不同的部分;控制部,驱动升降驱动部,使载置部与传感器保持部相对升降,并根据多个传感器对基板的端部的检测结果
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113764305 A
(43)申请公布日 2021.12.07
(21)申请号 202110467278.X
(22)申请日 2021.04.28
(30)优先权数据
2020-0984
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