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本发明属于激光加工设备技术领域，具体涉及一种PI膜特定皮秒紫外加工方法及皮秒紫外加工系统，本PI膜特定皮秒紫外加工方法包括：步骤1，将PI膜放置于加工平台上，并设置相应加工路径；步骤2，通过真空吸附将PI膜固定在加工平台上相应位置处，并开启相应吸尘装置；步骤3，以使激光器发出激光波长为355nm、脉宽为8‑12ps、频率为100kHz‑1MHz、脉冲串为1‑10/prf的激光光束，并将激光光束的焦点聚焦在PI膜内部；步骤4，控制加工平台按设定加工路径移动，以使激光器发出的激光光束按加工路径对PI
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113732542 A
(43)申请公布日 2021.12.03
(21)申请号 202111120473.1 B23K 26/38 (2014.01)
(22)申请日 2
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