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本发明涉及靶材加工技术领域，公开了一种溅射靶材研磨装置及加工方法，所述溅射靶材研磨装置包括机架和研磨用砂轮，所述机架的一端可移动地设有尾顶，所述机架的另一端对应所述尾顶可转动地设有工作头，所述工作头上设有工装夹具，所述工装夹具内可拆卸地插接有靶材套筒，所述砂轮可移动地设置在所述工装夹具与所述尾顶之间。采用本发明溅射靶材研磨装置及加工方法，研磨靶材内径时在工装夹具上安装靶材套筒，然后将靶材坯料固定在靶材套筒内进行内表面的研磨，避免了其在研磨过程中的圆跳动，不仅方便对内表面进行研磨，而且研磨外表面时
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113732835 A
(43)申请公布日 2021.12.03
(21)申请号 202111116516.9 B24B 41/06 (2012.01)
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