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树脂珠(R)的集聚方法包含第1步骤～第4步骤。第1步骤是在设置于基板(11)的上表面(US)的薄膜(12)上准备样本(S)的步骤。第2步骤是将激光(L1)和激光(L2)相互分开地照射到薄膜(12)的步骤。第3步骤是通过激光(L1、L2)的照射对样本(S)进行加热，由此在激光(L1)的照射位置产生微泡(MB1)并且在激光(L2)的照射位置产生微泡(MB2)的步骤。第4步骤是通过在与微泡(MB1)和微泡(MB2)的排列方向垂直的方向上产生样本(S)的对流，从而在微泡(MB1)与微泡(MB2)之间的区
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113766970 B
(45)授权公告日 2023.04.14
(21)申请号 202080030848.2 专利权人 株式会社村田制作所
(22)申请日 2020.04.22
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