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一种处理基板的方法、基板舟以及热处理系统,用于半导体晶圆热处理中的基板舟包括用于在例如炉的处理工具中以一水平定向支撑一基板的支撑杆及指形件。该基板通过位于一共同水平面中的指形件组支撑在该基板舟中。这些指形件在该基板的背侧上的支撑位置处接触该基板。这些指形件具有多个不同形状及一基板表面非接触区域。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113764317 A
(43)申请公布日 2021.12.07
(21)申请号 202110073868.4 H01L 21/67 (2006.01)
(22)申请日 2
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