一种异质薄膜衬底的制备方法及声滤波器.pdfVIP

一种异质薄膜衬底的制备方法及声滤波器.pdf

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本发明涉及射频器件制备技术领域，特别涉及一种异质薄膜衬底的制备方法及声滤波器。本申请异质薄膜衬底的制备方法，通过在支撑衬底的表面注入同组分的离子，在支撑衬底中形成缺陷层，优化了异质衬底结构中的热应力分布，优化了器件的频率偏移及损耗，降低了功耗。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113764574 A (43)申请公布日 2021.12.07 (21)申请号 202110829225.8 H03H 9/58 (2006.01) (22)申请日 20

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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