一种大尺寸激光光斑检测装置及方法.pdfVIP

一种大尺寸激光光斑检测装置及方法.pdf

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本发明提供了一种大尺寸激光光斑检测装置,属于激光器技术领域,包括M×N个测量单元,基座,M×N个热电阻,数据采集与处理单元;测量单元包括导热体和隔热基质;所述基座用于安装固定各个测量单元,各个导热体远离测量靶面的一端与对应的热电阻一一相连,各个热电阻与数据采集与处理单元电性连接。本发明还提供一种大尺寸激光光斑检测方法。本发明的大尺寸激光光斑检测装置及方法,将待测激光离散化后,采集各个测量单元对应的温度数据,得到温度分布,然后通过数学方法,将温度分布与测量单元的位置、尺寸等耦合,进而可获得激光的光

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113740032 A (43)申请公布日 2021.12.03 (21)申请号 202110528330.8 (22)申请日 2021.05.14 (71)申请人 中国科学院长春光学精密机械与物

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