一种基于化学气相沉积制备大尺寸单晶二维材料的方法.pdfVIP

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2023-07-02 发布于四川
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一种基于化学气相沉积制备大尺寸单晶二维材料的方法.pdf

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本发明属于二维材料制备领域，具体涉及一种基于化学气相沉积制备大尺寸单晶二维材料的方法。所述方法为：采用载气A和载气B混合作为载流气体，先通过设定载气A和载气B的比例构造出近平微凸温场，再调整二者的比例构造出平温场，经过化学气相沉积获得大尺寸单晶二维材料；所述载气A为惰性气体，载气B为与载气A热导率不同的气体。本发明通过在反应室内引入不参加二维材料化学反应生成、且热导率不同的气体，在加强物质间相互作用的同时，有效对反应腔内的温场进行调控，设计并实现了在二维材料生长区域内凸温场向平温场的转变，充分提

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113737277 B (45)授权公告日 2022.07.26 (21)申请号 202111037976.2 C30B 25/14 (2006.01) (22)申请日 2021.09

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