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一种石墨烯/金属有机框架复合光响应器件的制备方法,它涉及一种光响应器件的制备方法。本发明的目的是要解决现有方法制备的光响应器件的光吸收率和响应率低的问题。制备方法:一、制备表面为还原氧化石墨烯的SiO2/Si片;二、蒸镀电极;三、制备金属有机框架,得到石墨烯/金属有机框架复合光响应器件。本发明制备的石墨烯/金属有机框架复合光响应器件的光响应效率为1.8A/W~3.3A/W,光响应时间为10s~30s。本发明可获得一种石墨烯/金属有机框架复合光响应器件。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113737152 B
(45)授权公告日 2022.04.05
(21)申请号 202111035389.X C23C 28/00 (2006.01)
(2
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