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2023-07-01 发布于四川
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吸盘装置及具有其的基板处理设备.pdf

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本发明公开了一种吸盘装置及具有其的基板处理设备，根据本发明实施例的吸盘装置，包括：第一平移组件、至少两个第二平移组件和至少四个吸盘组件，至少两个第二平移组件设置于第一平移组件上且在第一平移组件的驱动下可沿第一方向移动；至少四个吸盘组件两两设置于至少两个第二平移组件，设置于第二平移组件上的两个吸盘组件在第二平移组件的驱动下沿第二方向相向或相背移动，第二方向与第一方向垂直。这样，通过设有第一平移组件和第二平移组件对吸盘组件的位置进行调整，从而让四个吸盘组件所限制的吸附范围能够针对基板的尺寸进行调整，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113707596 A (43)申请公布日 2021.11.26 (21)申请号 202111004539.0 (22)申请日 2021.08.30 (71)申请人合肥芯碁微电子装备股份有限公司

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