层叠体以及指示器.pdfVIP

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提供一种层叠体以及指示器,能够容易地调整检测层的灵敏度,可确实地检测处理的进行或终点,可简便地检测均匀地对被处理物整体进行了处理,且可避免伴随这些处理而产生的污染物质所导致的污染。(解决手段)层叠体,具有:检测层,检测选自由等离子体、臭氧、紫外线及含自由基的气体所组成的群组中的至少一种而色调发生变化;及基材层,且所述检测层包括具有与表面的开孔部连通的内部空间的结构体,在所述内部空间内包含检测剂,所述检测剂包含检测选自由等离子体、臭氧、紫外线及含自由基的气体所组成的群组中的至少一种而色调发生变化的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113711032 A (43)申请公布日 2021.11.26 (21)申请号 202080029425.9 (74)专利代理机构 北京派特恩知识产权代理有

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