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本发明公开了一种具有双作业线的基板贴合机台及其处理系统，具有双作业线的基板贴合机台包括两条贴合作业线、子板送料机构、至少一视觉辨识装置、活动式吸附装置及往返输送机构。每一贴合作业线具有一输送装置用以输送一载具及一吸附载盘。每一吸附载盘具有多个吸取头、多个微漏型真空节流阀及分歧装置。子板送料机构位于两个输送装置之间，用以输送基板。活动式吸附装置吸附基板到视觉辨识装置，以辨识基板的定位标志，然后移动基板到贴合作业线。往返输送机构能选择地输送吸附载盘进到下游工艺机台，或者回到基板贴合机台。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113696595 A
(43)申请公布日
2021.11.26
(21)申请号 20201
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