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一种ITO废靶材的回收工艺，先在电解槽内调配电解液，电解液的PH值在0.5—2之间，电解液中的溶质为有机酸根0.01—5mol/l，无机酸根0.01—5mol/l，电解液中的溶剂为超纯水，再将ITO废靶材放入阳极筐内，然后将阴极板、阳极筐都放入电解液内，阳极筐的内部与电解液相通，再将阳极筐上、阴极板上的阴极耳接入电路，然后启动阳极耳、阴极耳所在电路以开始电解，电解的温度为10—50℃，电解的电流为30‑100A/㎡，直至阴极板表面出现铟单质，优选阴极板上出现的铟单质呈现为整片状，以进行整片取铟。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113652717 B
(45)授权公告日 2023.04.11
(21)申请号 202110930807.5 C25C 7/08 (2006.01)
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