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本发明公开一种自组装纳米二氧化硅的制备方法,包括二氧化硅种子液的合成和二氧化硅种子的生长:将PEO‑PPO‑PEO三嵌段共聚物、含有球形二氧化硅的溶液与含有催化剂的溶液混合;在40℃~60℃再加入含有硅前驱体的溶液,得到溶液A;搅拌反应20~30小时,得到二氧化硅种子液,加热至沸腾,滴入硅酸溶液,反应1~3小时。自组装纳米二氧化硅表面形貌得到了改善,使颗粒与晶片形成多点接触,有利于摩擦化学反应提升移除速率;多点接触可以有效分散载荷,使划痕变浅,并有助于降低划伤概率。用于硬脆材料超精密抛光,通过分
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113652200 B
(45)授权公告日 2022.08.02
(21)申请号 202110932219.5 B82Y 30/00 (2011.01)
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