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一种旋喷一体化涂层的制备方法及装置,属于涂层制备技术领域。包括电源及控制系统和电机,还包括靶材、电极和基体,靶材为圆盘状,电机输出端与靶材中心轴连接,用于驱动靶材做高速旋转,靶材与电源及控制系统中电源的一极连接,电极和基体与电源的另一极连接,电极为板式电极,电极斜设于靶材的切向且与靶材之间的距离可调,电极低端指向靶材,电源及控制系统中控制系统分别与靶材、电极和基体连接,用于控制靶材、电极和基体的移动,电源与电机和控制系统电连接。本发明所述装置和方法,可以一次性完成基体材料表面的粗化、涂层的制备、
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113604770 B
(45)授权公告日 2022.08.09
(21)申请号 202110835643.8 (51)Int.Cl.
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