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一种移相干涉测量系统,包括光源单元、参考反射镜、第一分束镜、扩束镜、移相器、光电探测器;光源单元发出不同波长的光束,光束经扩束镜扩束后入射至第一分束镜,一部分被反射作为参考光束,另一部分被透射作为测量光束,参考光束入射至参考反射镜,经参考反射镜反射至光电探测器,参考反射镜与移相器固定连接,移相器控制参考光束进行相位调制;测量光束入射至待测物,经待测物反射回第一分束镜,经第一分束镜反射至光电探测器,且与参考光束发生干涉。本发明解决了单波长干涉测量方法只能测得0到2π范围内的相位值。解决了现有干涉测
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113587844 B
(45)授权公告日 2022.05.27
(21)申请号 202110850529.2 (51)Int.Cl.
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